[发明专利]表面形状测量装置及表面形状测量方法有效
| 申请号： | 200510053115.8 | 申请日： | 2005-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1677052A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 江里口冬樹;橘克彦;河原守 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明为了提供一种能准确地检测工件曲面的变形的表面形状测量装置及表面形状测量方法，包括与门面板51的弯曲形状的外表面对置的激光位移计17、使激光位移计17相对门面板51的外表面沿上下方向移动的Z轴伺服电动机24、使激光位移计17沿左右方向移动的X辅伺服电动机22、及使激光位移计17沿激光位移计17和门面板51的外表面的对置方向移动的Y轴伺服电动机26，利用CPU21控制Y轴伺服电动机26，使得激光位移计17和门面板51外表面的对置方向的距离保持一定。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 形状 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1一种表面形状测量装置，是一种使非接触式传感器对工件的曲面进行扫描来测量所述工件曲面变形的表面形状测量装置，其特征在于，包括测量部，所述测量部具有与所述工件曲面对置的非接触式传感器；对所述工件曲面沿所述工件曲面弯曲的弯曲方向使所述非接触式传感器移动的Z轴移动单元；对所述工件曲面沿与所述弯曲方向正交的方向使所述非接触式传感器移动的X轴移动单元；以及对所述工件曲面沿所述对置方向移动所述非接触式传感器、使所述非接触式传感器和所述工件曲面对置的对置方向间的距离保持一定的Y轴移动单元。
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