[发明专利]微纳米转印装置

摘要

一种微纳米转印装置至少包括模具、基板以及传递能量模块，该基板是相对该模具而设置并至少具有一成形材料层，该传递能量模块包括能量传递件以及至少一个能量源，由该能量传递件接设该基板或该模具，使该能量源提供转印能量至该基板或该模具，至少令部分转印能量穿透该能量传递件至该基板或该模具，对该成形材料层进行转印成形；本发明的微纳米转印装置能在提供兼具不同转印制程功能的同时，达到简化结构的效果，并可一次完成大面积、均匀转印，提高了产量和成形品质，还可降低装置成本，缩短成形周期，提供设计灵活性。

主权项

1.一种微纳米转印装置，其特征在于，该装置至少包括：模具；基板，相对该模具而设置，至少具有一成形材料层；以及传递能量模块，包括能量传递件以及至少一个能量源，由该能量传递件接设该基板或该模具，并使该能量源提供转印能量到该基板或该模具，至少令部分转印能量穿透该能量传递件到该基板或该模具，进行转印成形。