[发明专利]可转换的维修阀无效

专利信息
申请号: 200510053976.6 申请日: 2005-03-15
公开(公告)号: CN1669968A 公开(公告)日: 2005-09-21
发明(设计)人: 霍尔格·里歇特;安德烈亚斯·绍尔;吉多·哈滕多夫 申请(专利权)人: 应用薄膜有限责任与两合公司
主分类号: C03C17/00 分类号: C03C17/00;F16K3/02
代理公司: 北京邦信阳专利商标代理有限公司 代理人: 王昭林;张小英
地址: 联邦德国阿尔泽瑙*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 一种真空处理单元,特别用于对经过的基材做连续喷涂,优选玻璃涂层单元,该单元具有至少两个,优选的是多个相邻布置的间室(20,30)或间室区域(21,22,31,32,33),这些间室或间室区域通过一个或多个间室和/或分隔壁被相互隔开,并通过所述间室和/或分隔壁内的开口(4)相互连接,优选的是所述基材通道的开槽锁,并且至少一个开口可以借助用于间室和/或间室区域的真空密闭分隔的一个阀单元(5)以真空密闭的形式关闭,该阀单元可分离地附于间室内部,尤其是间室和/或分隔壁的内部。
搜索关键词: 转换 维修
【主权项】:
1.一种真空处理单元,特别用于对经过的基材做连续喷涂,优选玻璃涂层单元,该单元具有至少两个,优选的是各种相邻布置的间室(20,30)或间室区域(21,22,31,32,33),这些间室或间室区域通过一个或多个间室(23,34,35)和/或分隔壁(24,36,37)被相互隔开,并通过所述间室和/或分隔壁内的开口(4)相互连接,优选的是通过所述基材通道的开槽锁是相互连接的,并且至少一个开口可以被用于间室和/或间室区域的真空密闭分隔的一个阀单元(5)关闭,其特征在于,所述阀单元被可分离地附于所述间室的内部,尤其是间室和/或分隔壁的内部。
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