[发明专利]测试键结构

摘要

一种测试键结构，由基底、封闭回路、间隙壁、第一与第二掺杂区以及接触窗所构成。而封闭回路位于基底上，其中封闭回路具有两条导线以及两个连结部，各连结部连结于导线的一端并环绕一接触区域。间隙壁则设置于封闭回路边缘并覆盖于导线间的基底。再者，第一掺杂区是位于封闭回路以外与间隙壁以外的基底中，第二掺杂区则位于间隙壁底下的基底中。而接触窗是与各接触区域内的第一掺杂区电连接。由于本发明将间隙壁与导线加入测试键结构中，所以能更加符合实际的元件结构，而测得间隙壁对整个元件的影响。

主权项

1.一种测试键结构，包括：一基底；一封闭回路，位于该基底上，其中该封闭回路具有两条导线以及两个连结部，各该连结部连结于该些导线的一端并环绕一接触区域；多个间隙壁，设置于该封闭回路边缘并覆盖该些导线之间的该基底；多个第一掺杂区，位于该封闭回路以外与该些间隙壁以外的该基底中；多个第二掺杂区，位于该些间隙壁底下的该基底中；以及多个接触窗，与各该接触区域内的该些第一掺杂区电连接。