[发明专利]测量光电子器件TO封装座高频参数用的测试夹具无效

专利信息
申请号: 200510055018.2 申请日: 2005-03-14
公开(公告)号: CN1834662A 公开(公告)日: 2006-09-20
发明(设计)人: 张尚剑;祝宁华 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G01R1/02 分类号: G01R1/02;G01R31/26;H01L21/66
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汤保平
地址: 100083北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种测量光电子器件TO封装座高频参数用的测试夹具,其中包括:一背地共面波导,该背地共面波导包括:一方形填充介质,该方形填充介质为矩形;一底面电极、两侧面电极和两顶面电极,该底面电极、两侧面电极和两顶面电极是由一矩形金属材料围组而成,形成一端断面概似矩形的框体形成地电极,该框体的上面有一开口;一信号电极,该信号电极为一金属条状,该信号电极置于背地共面波导上的开口内、方形填充介质上,该信号电极不与两顶面电极接触;一同轴接头,该同轴接头包括:一内空心金属导体,该内空心金属导体与背地共面波导的信号电极连接;一外金属导体,该外金属导体与背地共面波导地电极连接。
搜索关键词: 测量 光电子 器件 to 封装 高频 参数 测试 夹具
【主权项】:
1、一种测量光电子器件TO封装座高频参数用的测试夹具,其特征在于,其中包括:一背地共面波导,该背地共面波导包括:一方形填充介质,该方形填充介质为矩形;一底面电极、两侧面电极和两顶面电极,该底面电极、两侧面电极和两顶面电极是由一矩形金属材料围组而成,形成一端断面概似矩形的框体形成地电极,该框体的上面有一开口;一信号电极,该信号电极为一金属条状,该信号电极置于背地共面波导上的开口内、方形填充介质上,该信号电极不与两顶面电极接触;一同轴接头,该同轴接头包括:一内空心金属导体,该内空心金属导体与背地共面波导的信号电极连接;一外金属导体,该外金属导体为管状,该内空心金属导体置于该外金属导体的中间,该外金属导体与背地共面波导地电极连接,该内空心金属导体和外金属导体之间填充有填充介质。
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