[发明专利]抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 200510055829.2 | 申请日： | 2005-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN1670628A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 松田洋和;堀口明;大谷浩司;高桥一史 | 申请（专利权）人： | 大赛璐化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C11D7/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在调制抗蚀剂时的溶解性、抗蚀剂稳定性和安全性都优异的抗蚀剂组合物。所述抗蚀剂组合物包括抗蚀剂成分与有机溶剂，所述有机溶剂是从(a1)烷基碳原子数为2或2以上的一丙二醇烷基醚、(a2)二或三丙二醇烷基醚、(a3)一、二或三丙二醇芳基醚、(a4)1，3－丁二醇或甘油的烷基醚、(b1)烷基碳原子数为3或3以上的乙酸一丙二醇烷基醚酯、(b2)乙酸二或三丙二醇烷基醚酯、(b3)乙酸一、二或三丙二醇芳基醚酯、(b4)乙酸1，3－丁二醇或甘油的烷基醚酯以及(b5)乙酸C3－4链烷多醇酯中选出的至少1种。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂组合物，其是含有抗蚀剂成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，其特征在于，所述有机溶剂是选自(a1)烷基碳原子数为2或2以上的一丙二醇烷基醚、(a2)二或三丙二醇烷基醚、(a3)一、二或三丙二醇芳基醚、(a4)1，3-丁二醇或甘油的烷基醚、(b1)烷基碳原子数为3或3以上的乙酸一丙二醇烷基醚酯、(b2)乙酸二或三丙二醇烷基醚酯、(b3)乙酸一、二或三丙二醇芳基醚酯、(b4)乙酸1，3-丁二醇或甘油的烷基醚酯以及(b5)乙酸C3-4链烷多醇酯中的至少1种溶剂。
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