[发明专利]半导体材料残余应力的测试装置及方法无效
| 申请号： | 200510055896.4 | 申请日： | 2005-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN1834623A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 陈涌海;赵玲慧;曾一平;李成基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种半导体材料内部残余应力的测试装置，包括：一信号采集系统，该信号采集系统用于对采集的信号进行处理，得到样品的应力分布情况；一光学检偏棱镜，该光学检偏棱镜与信号采集系统连接；一光学起偏棱镜，该光学起偏棱镜置于光学检偏棱镜之前；一光弹性调制器，该光弹性调制器置于光学检偏棱镜和光学起偏棱镜之间；一激光光源，该激光光源提供光学系统的信号源。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体材料 残余 应力 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种半导体材料内部残余应力的测试装置，其特征在于，包括：一信号采集系统，该信号采集系统用于对采集的信号进行处理，得到样品的应力分布情况；一光学检偏棱镜，该光学检偏棱镜与数据采集系统连接；一光学起偏棱镜，该光学起偏棱镜置于光学检偏棱镜之前；一光弹性调制器，该光弹性调制器置于光学检偏棱镜和光学起偏棱镜之间；一激光光源，该激光光源提供光学系统的信号源。
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