[发明专利]一种化学放大型正光刻胶组合物无效
| 申请号： | 200510056001.9 | 申请日： | 2005-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN1673861A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 户石好治;高田佳幸;山口训史 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C23F1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含：树脂，所述的树脂含有具有酸不稳定基团的结构单元且其本身不溶于或难溶于碱性水溶液且通过酸的作用而变成在碱性水溶液中可溶的；酸生成剂；和式(C－1)的化合物，其中R1和R2各自独立地表示氢或含有1至4个碳原子的烷基，R3、R4和R5各自独立地表示氢或羟基。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 大型 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含：树脂，其含有具有酸不稳定基团的结构单元且其本身不溶于或难溶于碱性水溶液且通过酸的作用而变成在碱性水溶液中可溶的；酸生成剂；和式(C-1)的化合物：![]()
其中R1和R2各自独立地表示氢或含有1至4个碳原子的烷基，R3、R4和R5各自独立地表示氢或羟基。
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