[发明专利]氮化物半导体激光元件和氮化物半导体元件有效

专利信息
申请号: 200510056281.3 申请日: 2005-04-04
公开(公告)号: CN1677778A 公开(公告)日: 2005-10-05
发明(设计)人: 松山裕司;铃木真二;伊势康介;道上敦生;米田章法 申请(专利权)人: 日亚化学工业株式会社
主分类号: H01S5/30 分类号: H01S5/30;H01L33/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 朱丹
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种氮化物半导体激光元件,是在氮化物半导体基板的主面上具有第1导电型的氮化物半导体层、活性层、导电型不同于第1导电型的第2导电型的氮化物半导体层、和形成在所述第2导电型的氮化物半导体层上的条纹状的隆起部,所述氮化物半导体基板的主面上,相对于基准结晶面,至少在与所述条纹状的隆起部大致平行的方向上具有偏角a(θb(θb)。本发明的目的是在宽范围的波长带中,使氮化物半导体层的组成分布、例如活性层的结晶性和In含量均匀,从而提供一种寿命特性和元件特性更加优良的元件。
搜索关键词: 氮化物 半导体 激光 元件
【主权项】:
1.一种氮化物半导体激光元件,在氮化物半导体基板的主面上具有第1导电型的氮化物半导体层、含有In的活性层、导电型不同于第1导电型的第2导电型的氮化物半导体层、和形成在所述第2导电型的氮化物半导体层上的条纹状的隆起部,其特征在于,所述氮化物半导体基板的主面上,相对于基准结晶面,至少在与所述条纹状的隆起部大致平行的方向上具有偏角a(θa)。
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