[发明专利]静电简支梁式干涉光调制器

摘要

本发明涉及一种静电简支梁式干涉光调制器，主要由衬底、控制电路、下电极层、简支梁、可动反射镜以及固定玻璃平板构成。在衬底上形成有下电极层和控制电路，下电极层与控制电路各单元电极控制端接触；在下电极层上淀积绝缘层，绝缘层之上形成有简支梁及支撑锚，支撑锚上支撑可动反射镜阵列，可动反射镜阵列与下电极层构成间距可变的平行平板电容器，可动反射镜阵列上方覆盖有固定玻璃平板，固定玻璃平板与可动反射镜之间留有一定的间距。简支梁采用类机翼形状，可减少地形效应，增加可动反射镜表面平整度。本调制器通过可动反射镜在静电力的作用下发生上下垂直运动对入射光的相位调制，实现光的开关态。本光栅光调制器具有响应速度快、面阵结构、结构简单，器件加工工艺简单等优点。

主权项

1.一种静电简支梁式干涉光调制器，其特征在于它包括：a.衬底；b.制造在衬底上的控制电路；c.在衬底上形成的下电极层，下电极层与控制电路各单元电极控制端接触；d.淀积在下电极层之上的绝缘层；e.在绝缘层之上形成的简支梁及支撑锚；f.被连接支撑在支撑锚上的可动反射镜阵列，可动反射镜阵列与下电极层构成间距可变的空气腔，各可动反射镜通过简支梁之间的连接形成上电极，并公共接地，一个可动反射镜对应光调制器阵列的一个像素，每个可动反射镜对应形成的光调制器单元独立施加偏置电压，使得可动反射镜作上下垂直运动，构成相位可变的平板干涉器件，形成不同干涉效果的点阵；g.通过键合方式覆盖在可动反射镜上方的固定玻璃平板，固定玻璃平板的四个角支撑在衬底上，固定玻璃平板与可动反射镜之间留有间距，固定玻璃平板上下表面镀膜来实现有效的透射和反射。