[发明专利]磁头滑动件的制造方法、磁头滑动件和磁盘装置无效
| 申请号： | 200510059586.X | 申请日： | 2005-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1677498A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 吉田和弘;伊藤淳;高桥干;羽生光伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G11B5/187 | 分类号： | G11B5/187;G11B5/60;G11B21/21 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 朱德强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种磁头滑动件5的制造方法能够在滑动件主体上至少执行三次铣削工序，从而形成一个浮动表面，这样就可以形成比铣削工序的数量还多的深度。这三次铣削工序例如可包括：第一铣削工序，该工序在滑动件主体50上形成一个第一掩膜并以第一深度执行铣削操作；第二铣削工序，该工序在第一铣削工序之后将第一掩膜更换为第二铣削并以第二深度执行铣削操作；第三铣削工序，该工序在第二铣削工序之后将第二掩膜更换为第三掩膜并以第三深度执行铣削操作。就是说，遮挡操作、铣削操作和掩膜拆除操作的循环要执行三个周期，这样，就可以很容易地加工出具有至少四种或更多种高度的铣削表面。 | ||
| 搜索关键词： | 磁头 滑动 制造 方法 磁盘 装置 | ||
【主权项】：
1.一种磁头滑动件的制造方法，该方法包括：在滑动件上执行至少三次铣削工序，从而形成浮动表面，形成比被铣削操作的所述铣削工序的数量多的深度种类。
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