[发明专利]惯性传感器无效
| 申请号： | 200510059704.7 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1677056A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 石川宽;中村义孝;德永博司;永田宪治 | 申请（专利权）人： | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/00 | 分类号： | G01C19/00;G01P9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈坚 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种惯性传感器，包括：传感部分，其具有由梁支撑的配重，该配重是可运动部分；以及限制配重的可运动范围的配重止动件，该配重止动件以给定间距设置在配重的附近，并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种惯性传感器，包括：传感部分，其具有由梁支撑的配重，该配重是可运动部分；以及配重止动件，其限制配重的可运动范围，该配重止动件以给定间距设置在配重的附近，并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。
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