[发明专利]钢琴型微电子机械微镜的隔行阵列

摘要

本发明公开了一种用于光学转换开关的微电子机械(MEM)镜装置。”钢琴”型的MEM装置包括伸长的平台，该平台由扭转铰链枢接到所述MEM装置并邻近于所述MEM装置的中部。所述平台的中间部分和所述扭转铰链有一个组合宽度，该组合宽度小于所述平台的剩余部分的宽度，因此就能够使多个这样的”钢琴”型MEM装置的位置彼此邻近地枢接于相同的轴上而在它们之间仅有相对较小的空气缝隙。在本发明的一个优选实施例中，通过将两套倾斜平台隔行来将电极之间的间隔增加而并不影响镜的填充因数，因此两套倾斜平台的反射部分彼此邻近，而邻近平台的非反射部分彼此远离。

主权项

1.安装在基片上的一种微电子机械装置，包括：安装在所述基片上的可绕第一横向轴转动的第一枢接构件阵列，所述第一枢接构件中的每一个包括第一和第二支承区域，所述第一和第二支承区域分别位于所述第一横向轴的相对的侧面；安装在所述基片上的可绕第二横向轴转动的第二枢接构件阵列，所述第二横向轴与所述第一横向轴平行，所述第二枢接构件中的每一个包括第一和第二支承区域，所述第二枢接构件的第一支承区域在所述第一和第二横向轴之间的区域上与所述第一枢接构件阵列的第一支承区域相间隔，所述第二枢接构件的第二支承区域位于所述第二横向轴的相对的侧面；和位于每个所述第二支承区域之下的第一电极，该第一电极用于使所述第一和第二枢接构件从静止位置绕所述轴旋转。