[发明专利]检查装置有效
| 申请号： | 200510060169.7 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1677051A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 伊从洁;野上大;小菅正吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种检查装置。随着在LCD用等基板上生成的透明导电膜图形的膜厚度变薄，图形边缘部的对比度降低，因此用现有技术难以测量。因此，提供一种增加这样的透明导电膜部分和其它以外部分的对比度、可容易地实现膜厚小的透明导电膜图形的尺寸测量的技术。照明单元使用产生在可见光以下的波长区具有高辉度的光的灯、和遮断可见光以上的长波长成分的光学滤光器，增加透明导电膜部分和其它以外部分的对比度，可容易地实现膜厚小的透明导电膜图形的尺寸测量。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
1、一种检查装置，用显微镜放大在基板上形成的图形的尺寸，进行尺寸测量，其特征在于，包括：灯，具有可见光以下的波长区的光谱；以及光学滤光器，遮断波长比可见光长的波长区的光成分。
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