[发明专利]基于脊型波导的具有双层锥形结构的波分复用器件无效
申请号: | 200510060296.7 | 申请日: | 2005-08-04 |
公开(公告)号: | CN1737621A | 公开(公告)日: | 2006-02-22 |
发明(设计)人: | 戴道锌;何赛灵 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G02B6/124 | 分类号: | G02B6/124;G02B6/136 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 林怀禹 |
地址: | 310027浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于脊型波导的具有双层锥形结构的波分复用器件,包括至少一条输入波导、一个自由传输区(FPR)、一个蚀刻凹面光栅和至少一条输出波导,输入波导/输出波导均与FPR相连,蚀刻凹面光栅与FPR连成一体;至少一条输入波导从输入到输出由浅刻蚀区域、双层锥形结构组成;至少一条输出波导从输入到输出由双层锥形结构、浅刻蚀区域组成。本发明采用双层锥形结构来解决了传统的基于SOI脊型波导的波分复用器存在的插入损耗、通道串扰等问题。本发明便于与其他集成光波导器件连接,消除了垂直方向的多模干涉问题,不增加额外的工艺过程,弯曲部分可为深刻蚀,从而减小器件尺寸,提高集成度。 | ||
搜索关键词: | 基于 波导 具有 双层 锥形 结构 波分复用 器件 | ||
【主权项】:
1.基于脊型波导的具有双层锥形结构的波分复用器件,包括至少一条输入波导、一个自由传播区域(8)、一个蚀刻凹面光栅(15)和至少一条输出波导,输入波导、输出波导均与自由传播区域相连,蚀刻凹面光栅(15)与自由传播区域(8)连成一体;其特征在于至少一条输入波导的弯曲部分之前或之后包含有双层锥形波导结构(2);每一条输出波导的弯曲部分之前或之后包含有有双层波导锥形结构(2)。
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