[发明专利]基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置

摘要

本发明公开了一种基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置。包括激光器的激光依次经准直透镜、光阑、被测物体反射后至聚焦透镜后接线阵型电荷耦合器件，经线阵型电荷耦合器件的输出端口与实时信号处理电路的输入端口相连。它采用平行光斜射式激光三角法、非CPU结构的实时信号处理电路和高速线阵型CCD。本发明具有结构简单，线性度好，灵敏度高，测量频率高，分辨率高和实时性好等特点，可应用于高频电―机械转换器等元件的微小角位移的静动态特性的在线或离线检测。

主权项

1、一种基于线阵型电荷耦合器件的微小角位移测量装置，其特性在于：包括激光器(4)、准直透镜(3)、光阑(2)、聚焦透镜(5)、线阵型电荷耦合器件(6)和实时信号处理电路(7)；激光器(4)的激光依次经准直透镜(3)、光阑(2)、被测物体(1)反射后至聚焦透镜(5)后接线阵型电荷耦合器件(6)，经线阵型电荷耦合器件(6)的输出端口与实时信号处理电路(7)的输入端口相连。