[发明专利]碟片原版制作方法无效
| 申请号： | 200510063011.5 | 申请日： | 2005-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1841538A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 谢忠勤;蔡正原;林彦儒 | 申请（专利权）人： | 精碟科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种碟片原版制作方法，其是包含在一具有一预录资料区及一可覆写资料区的基板之上涂布一光阻层，镭射刻版并显影光阻层，第一反应性离子蚀刻基板的预录资料区，第二反应性离子蚀刻光阻层，第三反应性离子蚀刻基板的预录资料区及可覆写资料区，以及移除光阻层。本发明的碟片原版制作方法，是具有复数次的反应性离子蚀刻步骤，其可以重复使用碟片原版，且能精确控制沟槽尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 碟片 原版 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种碟片原版制作方法，其特征在于其包含：在一具有一预录资料区及一可覆写资料区的基板之上涂布一光阻层；镭射刻版并显影该光阻层；第一反应性离子蚀刻该基板的该预录资料区；第二反应性离子蚀刻该光阻层；第三反应性离子蚀刻该基板的该预录资料区及该可覆写资料区；以及移除该光阻层。
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