[发明专利]Ru－M－O微粉末、其制造方法、及使用这些的厚膜电阻组合物有效
| 申请号： | 200510063197.4 | 申请日： | 2005-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN1691216A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 川久保胜弘 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | H01C7/00 | 分类号： | H01C7/00;H01B1/00;H01L27/01 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种比电阻高、微细且粒径均匀的分散性优异的Ru－M－O微粉末、其制造方法、及使用其的耐静电放电性优异的厚膜电阻组合物。提供Ru－M－O微粉末的制造方法，是从Ru化合物(A)和含有选自Nb或Ta中的至少一种的5A族元素M的5A族金属化合物(B)制造Ru－M－O微粉末的方法，包含对Ru化合物(A)配合能够与其形成具有金红石型结晶结构的固溶体所需的充分量的5A族金属化合物(B)后，对该配合物混合充分量的硼化合物(C)的第一工序；把所得化合物在500～1000℃温度进行热处理，形成由Ru和5A族金属M的固溶体、及氧化硼构成的热处理物的第二工序；及对所得热处理物添加溶剂，溶解去除氧化硼的第三工序。 | ||
| 搜索关键词： | ru 粉末 制造 方法 使用 这些 电阻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种Ru-M-O微粉末的制造方法，其是从Ru化合物(A)和含有选自Nb或Ta中的至少一种的5A族元素M的5A族金属化合物(B)制造Ru-M-O微粉末的方法，其特征在于，包含对Ru化合物(A)配合能够与其形成具有金红石型结晶结构的固溶体所需的充分量的5A族金属化合物(B)后，对该配合物混合充分量的硼化合物(C)的第一工序；把所得混合物在500～1000℃温度进行热处理，形成由Ru和5A族金属M的固溶体、及氧化硼构成的热处理物的第二工序；以及对所得热处理物添加溶剂，溶解去除氧化硼的第三工序。
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