[发明专利]谐振器、滤波器以及谐振器的制造有效
| 申请号： | 200510063776.9 | 申请日： | 2005-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1677852A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 横山刚;西原时弘;坂下武;谷口真司;岩城匡郁;上田政则;宫下勉 | 申请（专利权）人： | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 谐振器、滤波器以及谐振器的制造。该谐振器包括：设置在基板主表面上的压电薄膜；设置在压电薄膜的第一表面上的第一电极膜；设置在压电薄膜第二表面上的第二电极膜；设置在所述第一电极膜和所述第二电极膜其中之一上的频率调整膜；所述频率调整膜包括膜叠层，该膜叠层包括设置在第一电极膜和第二电极膜其中之一上的第一调整膜，以及设置在第一调整膜上的第二调整膜。第一调整膜用于Δf调整，第二调整膜用于校正滤波器制造工艺中生成的频率偏移。由此，可以准确地控制其中连接有多个谐振器的滤波器的中心频率。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 滤波器 以及 制造 | ||
【主权项】：
1、一种谐振器，包括：设置在基板的主表面上的压电薄膜；设置在所述压电薄膜的第一表面上的第一电极膜；设置在所述压电薄膜的第二表面上的第二电极膜；设置在所述第一电极膜和所述第二电极膜二者之中的一个电极膜上的频率调整膜；所述频率调整膜包括膜叠层，所述膜叠层包括设置在所述第一电极膜和所述第二电极膜二者之中的所述一个电极膜上的第一调整膜，以及设置在所述第一调整膜上的第二调整膜。
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