[发明专利]载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法有效
| 申请号： | 200510063828.2 | 申请日： | 2005-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1680770A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | 大坪圣一 | 申请（专利权）人： | 三丰株式会社 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00;G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法，具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面的载置台包括：支承机构，其支承载置台，为使载置台在加工成平面的平台上移动或旋转自如，可将载置台从该平台浮起，或将载置台固定支承在所述平台上；多个基准，其用于测定载置台的多种姿势，检测各姿势下载置台的位置和旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 表面 特性 测定 方法 | ||
【主权项】：
1、一种载置台，具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面，其特征在于，包括：支承机构，其支承载置台，为使载置台在平台上移动、旋转自如，可将所述载置台从所述平台浮起，或将所述载置台固定支承在所述平台上；多个基准，其用于测定所述载置台的多种姿势。
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