[发明专利]用于在基板上沉积有机材料的装置有效

专利信息
申请号: 200510064035.2 申请日: 2005-02-18
公开(公告)号: CN1657181A 公开(公告)日: 2005-08-24
发明(设计)人: 李东远;崔埈厚;郑镇九 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C11/10;B05C11/00;B05D7/24
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 王冉;王景刚
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明公开一种装置,其包括滴落单元、传输单元和位置调整单元。该滴落单元滴落有机材料滴。该传输单元沿着第一方向传输滴落单元。该位置调整单元插入在滴落单元和传输单元之间,以调整滴落单元的位置。因此,滴落该有机材料的装置具有小尺寸,并能将该有机材料滴滴落在精确的位置上。而且,该传输单元迅速移动滴落单元,并且位置调整单元精确地调整滴落单元的位置。因此,减小了用于烘干注入到空穴中的有机材料的时差。
搜索关键词: 用于 基板上 沉积 有机 材料 装置
【主权项】:
1.一种在基板上沉积有机材料的装置,包括:滴落有机材料滴的一滴落单元;沿着一第一方向传输所述滴落单元的一传输单元;和插入在所述滴落单元和所述传输单元之间的一位置调整单元,以调整所述滴落单元的位置。
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