[发明专利]流体驱动装置、静电驱动流体排出装置及其制造方法无效
| 申请号： | 200510064039.0 | 申请日： | 2005-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1660691A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 山口征也 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提出了一种流体驱动装置，它包括：用于在流体里提供压力变化的振动膜；为振动膜形成并用于致动振动膜的振动膜侧电极；与振动膜侧电极相对形成的基板侧电极；在振动膜侧电极和基板侧电极之间形成的空间；在基板侧电极上形成并用于通过该空间对振动膜侧电极进行支撑的支柱。其中振动膜侧电极如此形成使得它穿过支柱并延伸到支柱的底部且覆盖其底部的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 驱动 装置 静电 排出 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种流体驱动装置，其包括：用于在流体里提供压力变化的振动膜；为所述振动膜形成并用于使致动所述振动膜的振动膜侧电极；与所述振动膜侧电极相对形成的基板侧电极；在所述振动膜侧电极和所述基板侧电极之间形成的空间；和在所述基板侧电极上形成并用于通过所述空间对所述振动膜侧电极进行支撑的支柱；其中所述振动膜侧电极如此形成，使得它穿过所述支柱并延伸到所述支柱的底部且覆盖其一部分。
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