[发明专利]光位移测量装置有效

专利信息
申请号: 200510064158.6 申请日: 2005-03-18
公开(公告)号: CN1670476A 公开(公告)日: 2005-09-21
发明(设计)人: 岩本正;谷村吉久 申请(专利权)人: 三丰株式会社
主分类号: G01C3/00 分类号: G01C3/00;G02B3/06
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 王景刚;王冉
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种光位移测量装置,其用于引导来自光源的光通过具有物镜的光学系统到达目标,并用于通过检测部分检测从目标反射的光,从而测量目标相对于物镜的位移。在光位移测量装置中,物镜是锥形透镜,其用于朝着目标推进所述光,并用于接收由目标反射的光,以引导到检测部分,并根据由检测部分检测的检测图像的形状变化依赖于目标相对于物镜的位移的特性来测量目标相对于物镜的位移。
搜索关键词: 位移 测量 装置
【主权项】:
1、一种光位移测量装置,其用于引导来自光源的光通过具有物镜的光学系统到达目标,并用于通过检测部分检测从目标反射的光,从而测量目标相对于物镜的位移,其中:物镜是锥形透镜,其用于朝着目标推进所述光,并用于接收从目标反射的光到所述检测部分,以及根据由检测部分检测的检测图像的形状变化依赖于目标相对于物镜的位移的特性来测量目标相对于物镜的位移。
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