[发明专利]光敏元件以及固体成像器件

摘要

光敏元件包括半导体衬底，其设置有将入射光进行转换的光接收部分以及信号读出部分；光接收部分上形成有遮光层并具有开口；填充开口的透光绝缘层。满足2nW≥λmax的关系，其中W代表开口的最小宽度；n代表从遮光层的最上表面到光接收部分表面之间位置的绝缘层的平均折射率；以及λmax代表光接收部分的感光波长范围的最大波长。可以缩小光接收部分的开口率，而不导致有效波长范围的长波长侧灵敏度的下降，和光谱特性的变化。

主权项

1、一种光敏元件包括：半导体衬底，其设置有将入射光进行光电转换的光接收部分以及读出累积在该光接收部分中的信号电荷的信号读出部分；形成在该光接收部分上、具有开口的遮光层；以及透明绝缘层，形成为用于填充该开口；其中满足2nW≥λmax的关系，W表示该遮光层中开口的最小宽度，n表示与沿该开口的该遮光层的最上面的表面相对应的位置、以及与该光接收部分的表面相对应的位置之间的区域的该绝缘层的平均折射率，而λmax表示该光接收部分的感光波长范围的最大波长。