[发明专利]激光束加工机无效
| 申请号： | 200510064176.4 | 申请日： | 2005-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN1683107A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 能丸圭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪斯科 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K26/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种激光束加工机，它包括具有用于保持一板状工件的工件保持表面的卡盘台、具有用于从保持在所述卡盘台上的工件的顶表面一侧施加激光束以形成焦点的聚光器的激光束施加装置、以及用于沿垂直于所述工件保持表面的方向移动由所述聚光器形成的焦点的焦点位置调节装置，其中，所述激光束加工机还包括用于检测一区域的高度位置的高度位置检测装置以及用于在所述高度位置检测装置的高度位置检测信号的基础上控制所述焦点位置调节装置的控制装置，其中来自保持于所述卡盘台上的工件的顶表面的所述聚光器的激光束施加在所述区域上。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 加工 | ||
【主权项】：
1.一种激光束加工机，它包括具有用于保持一板状工件的工件保持表面的卡盘台、具有用于从保持在所述卡盘台上的工件的顶表面一侧施加激光束以形成焦点的聚光器的激光束施加装置、以及用于沿垂直于所述工件保持表面的方向移动由所述聚光器形成的焦点的焦点位置调节装置，其中，所述激光束加工机还包括用于检测一区域的高度位置的高度位置检测装置以及用于在所述高度位置检测装置的高度位置检测信号的基础上控制所述焦点位置调节装置的控制装置，其中来自保持于所述卡盘台上的工件的顶表面的所述聚光器的激光束施加在所述区域上。
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