[发明专利]基板检查装置

摘要

本发明的目的是提供一种能够将基板上的图形清晰地摄像的基板检查装置。摄像头(10)具有CCD行传感器(20)、6个第一照明装置(30)、一对第二照明装置(40)。第二照明装置(40)配置在第一照明装置(30)中的LED排列设置方向的两侧，其配置方式为，从第二照明装置(40)射出的光投影到基准平面(abcd)上时的该光对基板表面的照射角度，与从第一照明装置(30)射出的光投影到基准表面(abcd)上时的该光对基板表面的照射角度不同。

主权项

1、一种基板检查装置，利用排列设置有多个电荷耦合器件的电荷耦合器件行传感器对基板表面进行摄像，其特征在于，包括：第一照明装置，其具有在与上述电荷耦合器件行传感器中的电荷耦合器件的排列设置方向平行的方向上配置的大致线状的光照射部，向上述基板表面的由上述电荷耦合器件行传感器摄像的区域照射光；第二照明装置，其配置在上述第一照明装置的光照射部的长度方向的两侧，在向包含有上述电荷耦合器件行传感器中的多个电荷耦合器件和上述基板表面的由上述电荷耦合器件行传感器摄像的区域的基准表面上投影的情况下，以与从上述第一照明装置射出的光向上述基板表面上投影后的照射角度不同的照射角度，向上述基板表面的由上述电荷耦合器件行传感器摄像的区域照射光；移动装置，其使上述电荷耦合器件行传感器、上述第一照明装置、以及上述第二照明装置，在与上述电荷耦合器件行传感器中的电荷耦合器件的排列设置方向垂直的方向上，相对于上述基板而相对移动。