[发明专利]器件制造方法无效
申请号: | 200510065778.1 | 申请日: | 2005-04-15 |
公开(公告)号: | CN1690820A | 公开(公告)日: | 2005-11-02 |
发明(设计)人: | 加纳博司;竹知和重;上阪成元;仁上一夫 | 申请(专利权)人: | 日本电气株式会社;长濑产业株式会社;三和FROST工业株式会社 |
主分类号: | G02F1/136 | 分类号: | G02F1/136;G09F9/30;H01L21/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱进佳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在柔性器件制造方法中,当保护材料被粘至基片表面时,粘合仅在基片的一部分上执行。因为被粘附在基片的所述部分,所以保护材料容易被剥离。结果,剥离所需时间被减少,剥离过程中可能发生的器件破碎可被防止。 | ||
搜索关键词: | 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种器件制造方法,包括第一步骤:在基片的表面上形成器件;第二步骤:粘附保护材料至基片的表面;第三步骤:从基片的后表面侧研磨基片;第四步骤:粘附载体至基片的被研磨后表面上;以及第五步骤:剥离所述保护材料,其中,在第二步骤中,保护材料被粘附至基片的一部分上。
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