[发明专利]在无织构的金属基带上制备YBCO高温超导薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种在无织构的金属基带上制备YBCO高温超导薄膜的方法，该方法首先在无织构金属基带上制备织构的YBCO缓冲层，然后以此为模板外延氧化物缓冲层和高温超导薄膜；在制备织构的YBCO缓冲层时，利用磁场可以使具有各向异性顺磁磁化率的YBCO晶粒在平行于磁场方向沿c轴取向生长的原理，在平行于基片方向加一外磁场，以使YBCO在垂直于基片的方向上呈织构生长；然后以此为模板，在织构的YBCO缓冲层上外延YSZ和CeO₂缓冲层，进而制备YBCO超导薄膜；该方法为在无织构的金属基带上外延YBCO薄膜提供了一种方法。

主权项

1.一种在无织构的金属基带上制备YBCO高温超导薄膜的方法，包括以下步骤：1)将机械抛光后的无织构的金属基带用纯度为99.99％的丙酮、酒精、去离子水超声处理后放置在反应室中的加热器上，并将加热器放置在可控磁场中；2)根据已知方法，向反应室内充入氢氩(H2+Ar)混合气体，并进行除去无织构的金属基带表面氧化物杂质操作；3)将反应室中混合气体的压强降到0.5-1.5Pa，并将基片温度升高到800-850℃，利用已知方法开始沉积30-50nm的YBCO缓冲层，同时施加0.2-8T磁场，磁场方向平行于基片；4)将反应室内的氢、氩混合气体抽出，并充入纯度为99.99％的高纯氧，去掉磁场，将反应室气压调整为60-70Pa，基片温度升高到850-870℃，利用已知方法在所述YBCO缓冲层表面沉积YBCO超导薄膜。