[发明专利]用于处理面板的装置和方法有效
| 申请号： | 200510066251.0 | 申请日： | 2005-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1690866A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 朴庸硕 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/00;B65G49/00;B08B3/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗正云;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种面板处理系统，包括：用于从盒装载面板到生产流水线的装载机；I型面板生产流水线，用于(a)对面板进行剥离工序，(b)通过喷洒去离子水到已剥离的面板上来清洁面板，并去除水，(c)干燥已清洁的面板；用于从面板生产流水线卸载面板的卸载机。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 面板 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种面板处理系统，包括：用于将面板从盒装载到生产流水线的装载机；I型面板生产流水线，用于(a)对面板进行剥离工序，(b)通过喷洒去离子水到已剥离的面板上来清洁面板，并去除面板上存在的残留物，(c)干燥已清洁的面板；和用于从面板生产流水线卸载面板的卸载机。
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