[发明专利]化学放大型正光刻胶组合物，(甲基)丙烯酸酯衍生物及其制备方法

摘要

本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含(A)树脂和(B)酸生成剂，所述的树脂包含(i)一种式(I)的结构单元和(ii)选自式(II)、(III)、(IV)和(V)的结构单元中的至少一种结构单元。本发明还提供一种用于光刻胶组合物的新单体，以及制备这些单体和组合物的方法。

主权项

1.一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含：(A)树脂，其包含：(i)式(I)的结构单元：其中X表示氢原子、含有1至4个碳原子的烷基或含有1至4个碳原子的全氟烷基，Y表示对于与相邻碳原子一起形成脂环烃基所必需的至少两个原子，Z表示含有1至12个碳原子的二价烃基，R表示含有1至6个碳原子的烷基或含有3至12个碳原子的脂环烃基，和(ii)选自式(II)、(III)、(IV)和(V)的结构单元中的至少一种结构单元：其中X¹、X²、X³和X⁴各自独立地表示氢原子、含有1至4个碳原子的烷基或含有1至4个碳原子的全氟烷基，Z¹、Z²、Z³和Z⁴各自独立地表示含有1至12个碳原子的二价烃基，n¹、n²、n³和n⁴各自独立地表示0至3的整数，R¹表示含有1至6个碳原子的烷基或含有3至12个碳原子的环烷基，A表示含有1至12个碳原子的烃基，R²和R³各自独立地表示羟基或羟甲基，G表示-(CO)O-或-O-，R⁴表示含有1至4个碳原子的烷基或含有1至4个碳原子的烷氧基，p和q各自独立地表示0至2的整数，和Y具有如上所定义的相同含义，前提条件是式(II)和(III)的每个结构单元与式(I)中的结构单元不同，和(B)酸生成剂。