[发明专利]开关模式枪驱动器及其方法

摘要

本发明公开了一种可操作以在基片上分配流体的驱动器电路。一个驱动器电路使用高和低的电压总线以提供快速牵入电流。在过渡到保持电流期间的回扫电流被钳位到高电压总线以将能量返回到高电压总线(其是电容器)。另一驱动器电路使用过渡电流基准以在初始牵入变换和在从牵入到保持的变换来控制线圈电流。在从牵入到保持的变换中，在回扫模式和自由模式之间调制回扫线圈电流。

主权项

1.一种枪驱动器，其用于可操作地在基片上分配流体的流体分配器，该流体分配器具有可操作地连接到螺线管线圈的分配阀，该螺线管线圈可操作地使得分配阀在用于控制流体从流体分配器的流动的打开和关闭位置之间移动，该枪驱动器包括：较高的电压总线；第一开关，其具有电连接到较高的电压总线的一侧和适于连接到螺线管线圈的一端的第二侧；第二开关，其具有适于电连接到螺线管线圈的相对端的一侧；电流传感器，其用于感应在螺线管线圈中的电流；较低的电压总线；第三开关，其具有电连接到较低的电压总线的一侧和适于和螺线管线圈的一端电相接的第二侧；以及控制电路，其可操作地连接到第一开关、第二开关和第三开关，该控制电路：提供牵入电流设置点；闭合第一开关以将较高的电压总线加到螺线管线圈和在螺线管线圈中产生电流；响应于在线圈中基本上等于牵入电流设置点的电流断开第一开关，以及操作第二开关以将较低的电压总线加到螺线管线圈，并且维持在线圈中的电流基本上等于牵入电流设置点。