[发明专利]薄膜晶体管元件有效
| 申请号： | 200510066791.9 | 申请日： | 2005-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1670966A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 蔡文庆;方国龙;林汉涂;李嘉盛 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种薄膜晶体管元件，包括一基板、一含银栅极层、一第一接面层、一栅极绝缘层、一半导体层、一源极与一漏极。其中，该含银栅极层位于该基板上，该第一接面层介于该基板与该含银栅极层间，该栅极绝缘层位于该含银栅极层上方，该半导体层位于该栅极绝缘层上，并且该源极与漏极位于部分该半导体层上。因此，通过提供具有低电阻率与粘着特性的含银金属导线，可形成较佳品质的薄膜晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 元件 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜晶体管元件，包括：一基板；一含银栅极层，位于该基板上；一第一接面层，介于该基板与该含银栅极层间；一栅极绝缘层，位于该含银栅极层上方；一半导体层，位于该栅极绝缘层上；以及一源极与一漏极，位于部分该半导体层上。
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