[发明专利]加速度传感器无效
申请号: | 200510067030.5 | 申请日: | 2005-04-21 |
公开(公告)号: | CN1693900A | 公开(公告)日: | 2005-11-09 |
发明(设计)人: | 本藏义信;山本道治;幸谷吉晃;森正树;加古英儿;玄番弘荣;浅野巧;石川尚树 | 申请(专利权)人: | 爱知制钢株式会社 |
主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 | 代理人: | 徐申民;张惠萍 |
地址: | 日本国爱*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了一种在采用磁性检出元件检测磁体位移的加速度传感器,并且,该加速度传感器是有效地抑制周边外界磁场的影响而提高检测精度的加速度传感器。本发明所提出的加速度传感器(1),具有悬臂梁结构,包括了以其固定端(221)为中心作往复动作的弹性变形运动的悬臂(22)和、在悬臂(22)的自由端(222)上设置的磁体(21a(b))、以及在悬臂(22)的往复动作领域的外周面上配置了磁性检出头部(23b)的加速度检测单元。并且,本发明所提出的加速度传感器(1),为了补正磁性检出头部(23a)、(23b)输出的检出信号,配备了分别检测作用于磁性检出头部(23a)、(23b)和磁体(21a)、(21b)的周边外界磁场的周边外界磁场检出部(43a)、(43b)。 | ||
搜索关键词: | 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种加速度传感器,其特征在于,具有悬臂梁结构,包含了以固定于设置在基板上的支持部件上的固定端为中心作往复动作的弹性变形运动的悬臂和、在该悬臂的自由端上设置了磁体、以及在上述悬臂的往复动作领域的外周一侧配置了的磁性检出头部的加速度检测单元;并且,本发明的加速度传感器,为了补正上述磁性检出头部输出的检出信号中的误差成分,配备了检测作用于上述磁性检出头部和上述磁体的周边外界磁场的周边外界磁场检出部。
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