[发明专利]激光束加工设备有效

专利信息
申请号: 200510067043.2 申请日: 2005-04-27
公开(公告)号: CN1689750A 公开(公告)日: 2005-11-02
发明(设计)人: 能丸圭司 申请(专利权)人: 株式会社迪斯科
主分类号: B23K26/04 分类号: B23K26/04;B23K26/06;B23K26/08
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 夏青
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种激光束加工设备,包括用于保持工件的卡盘工作台和激光束施加装置,该激光束施加装置包括激光束振荡装置和聚光器,聚光器具有物镜,该物镜用于会聚由该激光束振荡装置振荡发出的激光束从而将其施加到卡盘工作台上保持的工件上,其中在激光束振荡装置和物镜之间插入第一透镜、第二透镜和光程长度改变装置,第一透镜用于透射由激光束振荡装置振荡发出的激光束,第二透镜用于透射已经穿过第一透镜的激光束,光程长度改变装置用于改变第一透镜和第二透镜之间的光程长度。
搜索关键词: 激光束 加工 设备
【主权项】:
1、一种激光束加工设备,包括:用于保持工件的卡盘工作台;包含激光束振荡装置和聚光器的激光束施加装置,该聚光器配有物镜,该物镜用于会聚由该激光束振荡装置振荡发出的激光束从而将其施加到所述卡盘工作台上保持的所述工件上;以及加工进给装置,用于使所述卡盘工作台和所述激光束施加装置在加工进给方向上彼此相对移动,其中:在所述激光束振荡装置和所述物镜之间设置焦点移动装置,该焦点移动装置用于移动由所述物镜会聚的所述激光束的焦点位置;以及所述焦点移动装置包括第一透镜、第二透镜和光程长度改变装置,所述第一透镜用于透射由所述激光束振荡装置振荡发出的所述激光束,所述第二透镜用于透射已经穿过所述第一透镜的激光束,以及所述光程长度改变装置用于改变所述第一透镜和所述第二透镜之间的光程长度。
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