[发明专利]关闭真空室开口的关闭阀和方法无效
申请号: | 200510067450.3 | 申请日: | 2005-04-21 |
公开(公告)号: | CN1690490A | 公开(公告)日: | 2005-11-02 |
发明(设计)人: | 重高贤治郎 | 申请(专利权)人: | 小野寺广一 |
主分类号: | F16K5/04 | 分类号: | F16K5/04;F16K51/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 王冉;王景刚 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种关闭阀,其放置于形成在真空室中的连通口之间,包括外壳,置于外壳中的阀体,该阀体具有围绕阀体中心轴旋转的轴,驱动阀体使轴旋转的驱动单元,以及用于轴的开启和关闭每个开口的开/关机构。开/关机构包含安装在轴上的片部件,其在轴的径向上向外伸出以关闭每个开口;推动部件,其在轴的半径方向向里或向外推动片部件;连接到片部件的密封部件,与片部件联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间,轴含有与密封空间连通的空气通路。 | ||
搜索关键词: | 关闭 真空 开口 方法 | ||
【主权项】:
1.放置于真空室开口之间的关闭阀,包括:外壳;置于外壳内的阀体,其具有围绕阀体中心轴旋转的轴;驱动阀体以使所述轴旋转的驱动单元;和提供给所述轴的用于开启和关闭真空室的每个开口的开/关机构,其包括:安装在轴上的片部件,其在轴的径向上向外伸出从而关闭每个开口;推动部件,其在轴的径向上向里或向外推动片部件;密封部件,其连接在片部件上,从而与之联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间,轴上形成有与密封空间连通的空气通路。
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