[发明专利]用于制造版模的方法以及使用其形成图案的方法有效

专利信息
申请号: 200510068104.7 申请日: 2005-04-26
公开(公告)号: CN1693953A 公开(公告)日: 2005-11-09
发明(设计)人: 金喆镐 申请(专利权)人: LG.菲利浦LCD株式会社
主分类号: G02F1/133 分类号: G02F1/133;G03F7/20;H01L21/027
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 徐金国;梁挥
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及一种版模的制造方法,包括:制备透明玻璃基板;在所述基板上沉积金属层;构图所述金属层以形成第一金属图案;采用所述第一金属图案作为掩模蚀刻所述玻璃基板,形成第一凸图案;构图所述第一金属图案形成第二金属图案;以及采用所述第二金属图案作为掩模蚀刻所述第一凸图案,形成第二凸图案。
搜索关键词: 用于 制造 方法 以及 使用 形成 图案
【主权项】:
1、一种版模的制造方法,包括:制备透明玻璃基板;在所述基板上沉积金属层;构图所述金属层以形成第一金属图案;采用所述第一金属图案作为掩模蚀刻所述玻璃基板,形成第一凸图案;构图所述第一金属图案以形成第二金属图案;以及采用所述第二金属图案作为掩模蚀刻所述第一凸图案,形成第二凸图案。
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