[发明专利]显影方法与显影设备无效
| 申请号： | 200510068277.9 | 申请日： | 2005-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1858649A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 詹勋凯;刘大有 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种显影设备与一种显影方法，其中显影方法包括下列步骤。首先，提供显影设备与基板，其中显影设备包括传送装置与喷头。然后，通过传送装置使基板往第一方向移动，并令喷头往相反于第一方向的第二方向移动，其中在喷头移动时，喷头所释出之显影液涂布于基板上。基于上述方法，本发明能够改善显影不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种显影方法，其特征在于包括：提供显影设备与基板，其中该显影设备包括传送装置与喷头；以及通过该传送装置使该基板往第一方向移动，并令该喷头往相反于该第一方向之第二方向移动，其中在该喷头移动时，该喷头所释出之显影液涂布于该基板上。
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