[发明专利]表面检测装置和表面检测方法无效
| 申请号： | 200510069673.3 | 申请日： | 2005-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN1696672A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 安藤护俊;酒井觉 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/55;G01N21/84;G01B11/30;G01B5/28;G06T7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种根据表面发射的光的强度来检测材料表面的表面检测装置，包括：照射光到表面上的照射单元；和检测该表面反射的光的强度的检测单元。光的强度分布是越接近表面光强度越高。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种表面检测装置，用于根据该表面反射的光的强度检测材料表面，该表面检测装置包括：用于照射光到该表面上的照射单元；以及用于检测该表面反射的光的强度的检测单元，其中光的强度分布是越接近该表面光强度越高。
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