[发明专利]多组分沉积无效
| 申请号： | 200510069697.9 | 申请日： | 2005-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1693534A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | A·V·马克霍特金;I·S·马拉申科;I·V·贝洛索夫 | 申请（专利权）人： | 联合工艺公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448;C23C16/06;C23C16/18;C23C16/52 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 物理气相沉积被一种或多种有机金属化合物的化学气相沉积加强以沉积多组分材料。所述有机金属化合物可以是羰基化合物。本工艺可被用以在超合金涡轮机部件上沉积涂层和修复材料。 | ||
| 搜索关键词： | 组分 沉积 | ||
【主权项】：
1、一种用于将沉积材料(110；212)沉积到部件(20；210)上的方法，包括：将所述部件置于沉积室(50)中；通过电子束加热使用于形成沉积材料的一种或多种第一组分(66)汽化；以及使用于提供与第一组分共同沉积在部件上的沉积材料中的一种或多种第二组分的一种或多种有机金属化合物(102；202)汽化。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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