[发明专利]小批量尺寸基片载体无效
| 申请号： | 200510069730.8 | 申请日： | 2005-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1683219A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 马丁·R·艾利奥特;迈克尔·R·赖斯;杰弗里·C·哈德根斯;埃里克·A·恩格尔哈特;维克托·贝里特斯基 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/30 | 分类号： | B65D85/30;B65D85/48;B65G49/05;H01L21/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 董敏 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明在第一方面，提供一设备用于打开基片载体的基片载体门。该设备包括一支撑构件，该支撑构件适合于(1)在装卸口处支撑该基片载体门；(2)允许该门从基片载体上移开；和(3)将已经移开的门枢转到基片载体的底部表面下方。还提供了数个其他方面。 | ||
| 搜索关键词： | 批量 尺寸 载体 | ||
【主权项】：
1.一种基片载体，包括：一基片载体外壳，该外壳具有开口和适合于存储至少一个基片的区域；和一适合于联接到该外壳上并密封该开口的门；其特征在于，该门包括磁力穿透部件，该部件适合于和装卸口的开门机构的相对应的磁性部件相联接。
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