[发明专利]等离子显示板及其制造方法

摘要

本发明提供了一种等离子显示板及制造该等离子显示板的方法。该方法包括以下操作：制备透明基板；在基板上涂敷用于形成间隔壁的原材料；在用于形成间隔壁的原材料上涂敷光刻胶；曝光和显影光刻胶，以形成在基板上的一个方向上布置的第一间隔壁和在另一方向上布置的第二间隔壁，从而限定放电空间；通过光刻胶的开口注入蚀刻剂，以蚀刻原材料，使得第一和第二间隔壁的高度变得彼此不同，从而形成用于在真空排气工序中排放不纯气体的排气通道；以及除去原材料上残留的光刻胶，以完成对包括第一和第二间隔壁的间隔壁的构造。

主权项

1、一种制造等离子显示板的方法，包括：在布置在透明基板上的原材料上图案化光刻胶；通过该光刻胶的开口注入蚀刻剂，以蚀刻该原材料并在第一方向形成第一间隔壁，在不同的第二方向形成第二间隔壁，其中该第一和第二间隔壁的高度互不相同，从而形成用于在真空排气工序中排放不纯气体的排气通道。