[发明专利]管理衬底加工设备的设备信息的衬底加工系统

摘要

一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。

主权项

1.一种有衬底加工设备的衬底加工设备管理系统和一种管理所述衬底加工设备的计算机，它们都连接到网络，其中所述衬底加工设备包括耗损测量部分，它测量所述衬底加工设备元件的耗损，所述衬底加工设备管理系统包括：耗损信息累积部件，累积耗损测量部件测量的耗损；和耗损信息公开部件，使所述耗损信息累积部件中累积的所述耗损可经网络从所述计算机读取。