[发明专利]棱镜制造方法无效
申请号: | 200510071443.0 | 申请日: | 2005-05-12 |
公开(公告)号: | CN1862294A | 公开(公告)日: | 2006-11-15 |
发明(设计)人: | 荘平 | 申请(专利权)人: | 宣得股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/04 | 分类号: | G02B5/04 |
代理公司: | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 楼仙英 |
地址: | 台湾省桃园县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种棱镜制造方法,首先在一半导体晶圆上利用半导体制程形成母模结构,接着利用一电铸程序,将此母模上的图案进行翻铸,来形成一金属模具,并通过此金属模具,以现有的方式形成棱镜结构。 | ||
搜索关键词: | 棱镜 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种棱镜制造方法,所述的方法至少包括:使用半导体制程程序在一晶圆上形成一母模结构;对该母模结构执行一电铸程序以获得一对应该母模结构的一金属铸具;以及使用该金属铸具制造棱镜。
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