[发明专利]电气检测设备有效
申请号: | 200510071474.6 | 申请日: | 2005-05-13 |
公开(公告)号: | CN1696708A | 公开(公告)日: | 2005-11-16 |
发明(设计)人: | 贡特尔·伯姆 | 申请(专利权)人: | 精炼金属股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/06;G01R31/26 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 联邦德*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明提供一种特别用于晶片检测的电气检测设备。这种检测设备带有一个与被测件相对的触头,触头上带有形成触针布置的销状接触元件;这种设备还带有一个电气连接装置,它的接触面与接触元件上背朝被测件的一端相接触。本发明的特征在于,一个借助滑动导向件从而允许在径向上出现温度膨胀变化的定中心装置使触头和连接装置的中心相互对准。 | ||
搜索关键词: | 电气 检测 设备 | ||
【主权项】:
1.用于检测晶片的电气检测设备,带有一个与被测件相对的触头,触头上带有形成触针布置的销状接触元件;这种设备还带有一个电气连接装置,它的接触面与接触元件上背朝被测件的一端相接触,其特征在于,一个借助滑动导向件(22)从而允许在径向上出现温度膨胀变化的定中心装置(20)使触头(6)和连接装置(7)的中心相互对准。
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