[发明专利]铟锡氧化物前驱物浆料制备和ITO薄膜制备方法无效
| 申请号： | 200510072250.7 | 申请日： | 2005-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN1868948A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 刘家祥;甘勇;王海宁;李承威 | 申请（专利权）人： | 北京化工大学;威海市蓝狐特种材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23;C03C17/25 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100029北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用铟、锡金属或其无机盐类为原料制备铟锡氧化物前驱物浆料以及通过涂覆技术用此浆料在玻璃片上制备透明和导电性能良好的ITO薄膜的制备技术。其特点是利用无机单强酸或混合强酸分别溶解金属铟、金属锡，或可溶性铟盐和锡盐溶解于水中，将配制的二溶液混合，在强烈搅拌混合溶液条件下加入沉淀剂产生铟锡共沉淀物，用去离子水洗涤杂质离子后，加入分散剂和沉淀剂，得到铟锡氢氧化物或碳酸盐胶体沉淀物，再加入一元低级醇类溶剂和添加剂乙酸、乙醇胺、聚乙二醇型、吐温系列和聚乙烯吡咯烷酮等制备出铟锡氧化物前驱物浆料。通过涂覆和煅烧技术用此浆料在玻璃片制备出表面均匀平整的ITO薄膜。ITO薄膜的厚度在30nm～500nm，在可见光区波长为550nm处的透射率为85％以上，膜方电阻为40－400Ω/□。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 前驱 浆料 制备 ito 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铟锡氧化物前驱物浆料的制备方法，其特征在于：以铟、锡金属或铟、锡金属盐为原料配制混合溶液，混合溶液中加入分散剂和沉淀剂，得到铟锡氢氧化物或碳酸盐胶体，然后以无水一元低级醇为溶剂加入添加剂得到铟锡氧化物前驱物浆料。
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