[发明专利]双光纤耦合接触式微测量力瞄准传感器有效

专利信息
申请号: 200510072254.5 申请日: 2005-05-27
公开(公告)号: CN1737493A 公开(公告)日: 2006-02-22
发明(设计)人: 谭久彬;崔继文 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02;G01B11/00
代理公司: 北京英特普罗知识产权代理有限公司 代理人: 齐永红
地址: 150001黑*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 发明涉及一种可伸入微深孔内将耦合器触头与内孔边缘触测位置转换成光束转角信息的双光纤耦合接触式微测量力瞄准传感器,由探针、显微物镜、CCD摄像系统、软件处理系统组成,所说的探针由两根光纤组成,其中一根光纤作为入射光纤,另一根作为出射光纤,入射光纤和出射光纤的一端与耦合器固定连接,耦合器作为探针的触点,光束经入射光纤导入耦合器后由出射光纤导出,导出光束经显微物镜进入CCD摄像系统,通过图像处理技术即可得到出射光束在CCD上形成的光斑能量中心位置,由CCD上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况。本传感器可以实现对直径不小于0.01mm、深径比不大于50∶1的微深孔测量时的精确瞄准。
搜索关键词: 光纤 耦合 接触 式微 测量 瞄准 传感器
【主权项】:
1.一种双光纤耦合接触式微测量力瞄准传感器,由探针、显微物镜、CCD摄像系统、软件处理系统组成,其特征是:所说的探针由两根光纤组成,其中一根光纤作为入射光纤,另一根作为出射光纤,入射光纤和出射光纤的一端与耦合器固定连接,耦合器作为探针的触点,光束经入射光纤导入耦合器后由出射光纤导出,导出光束经显微物镜进入CCD摄像系统。
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