[发明专利]在液晶显示器中形成薄膜晶体管的方法有效
| 申请号： | 200510072851.8 | 申请日： | 2005-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN1869793A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 丁进国 | 申请（专利权）人： | 广辉电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;H01L29/786;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在液晶显示器中形成薄膜晶体管的工艺中，首先在透明基板上依序形成一层缓冲层以及一层多晶硅层。之后，利用等离子处理的方式在多晶硅层的表面上形成栅极绝缘层，其中等离子可包含氧，氮，或是同时包含两者，而处理的温度约在300－600℃之间。接着，在上述的栅极绝缘层上形成一层栅极层，并且在栅极层的两旁形成源极与漏极。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶显示器 形成 薄膜晶体管 方法 | ||
【主权项】：
1、一种在液晶显示器中形成一个薄膜晶体管的方法，包括：依次在一个透明基板上沉积一层缓冲层与一层多晶硅层；以等离子处理该多晶硅层以形成一层栅极绝缘层；在该栅极绝缘层上形成一层栅极层；以及在该多晶硅层内形成一个源极与一个漏极区域，处于该栅极层两侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广辉电子股份有限公司，未经广辉电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510072851.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无动力空气除尘净化装置
- 下一篇：使用洗涤剂免除擦洗眼镜片的方法
