[发明专利]抗腐蚀的处理室部件有效
| 申请号： | 200510073433.0 | 申请日： | 2005-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN1702053A | 公开（公告）日： | 2005-11-30 |
| 发明（设计）人： | L·穆鲁盖什;S·德特玛;H·方 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/10 | 分类号： | C04B35/10 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种衬底处理室部件，其显示出在激励气体中腐蚀降低。所述部件具有由氧化铝组成的陶瓷结构，且具有暴露给处理室中激励气体的表面。由激励气体造成的所述表面的腐蚀被所述陶瓷结构的抗腐蚀特性显著地降低，抗腐蚀特性源于所述陶瓷结构中晶粒的总面积GSA与晶界区域的总面积GBSA的比值是从约0.25到约2.5。而且，所述陶瓷结构中至少约80％的晶粒的尺寸范围是从约1微米到约20微米。所述陶瓷结构按重量纯度至少约为99.8％，这进一步减少所述表面的腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 处理 部件 | ||
【主权项】：
1.一种衬底处理室部件，在激励气体中腐蚀降低，所述部件包括：一种陶瓷结构，其由氧化铝组成，且具有暴露给所述室中的所述激励气体的表面，所述陶瓷结构包括：(a)晶粒和晶界区域，使晶粒的总面积GSA与晶界区域的总面积GBSA的比值为从约0.25到约2.5；(b)至少约80％的晶粒具有从约1微米到约20微米的晶粒尺寸；和(c)按重量纯度至少约为99.8％，其中所述表面由所述激励气体造成的腐蚀显著降低。
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