[发明专利]盘片拾取装置及其方法无效
申请号: | 200510073807.9 | 申请日: | 2005-05-24 |
公开(公告)号: | CN1868845A | 公开(公告)日: | 2006-11-29 |
发明(设计)人: | 卢瑞坚;杨芯萍;柳至崇 | 申请(专利权)人: | 明基电通股份有限公司 |
主分类号: | B65H3/08 | 分类号: | B65H3/08;B65H3/46 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陈小雯;李晓舒 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种盘片拾取装置及其方法。盘片具有一第一侧、一第二侧及一通孔,且通孔连通盘片的第一侧及第二侧。盘片拾取装置包括一真空产生装置及一供气装置。真空产生装置提供吸力于盘片的第一侧。供气装置提供远离盘片的气流于盘片的第二侧,以使盘片的第一侧接触真空产生装置。 | ||
搜索关键词: | 盘片 拾取 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种盘片拾取装置,用于拾取一盘片,该盘片具有一第一侧、一第二侧及一通孔,且该通孔连通该盘片的该第一侧及该第二侧,该盘片拾取装置包括:一真空产生装置,提供一吸力于该盘片的该第一侧;以及一供气装置,提供远离该盘片的一气流于该盘片的该第二侧,以使该盘片的该第一侧接触该真空产生装置。
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