[发明专利]用于溅射一个可旋转靶管的阴极装置有效
| 申请号： | 200510074095.2 | 申请日： | 2005-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1769515A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | R·纽科布;S·特鲁贝;T·里索;K·卡瓦卡米;D·马夸德特;A·索尔 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司;应用菲林公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;胡强 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于溅射靶管的阴极装置，其具有不旋转的磁系统用于产生包围等离子的磁场，其中靶管在真空室中可透穿磁场地旋转，其中在至少一个支承结构中设置支承轴，其中还在靶管的内部设置一个用于磁系统的固定体；其中在支承轴与靶管间设置至少一个可拆卸的耦联装置用于更换靶管。为了使阴极装置实现支承轴与靶管高负载的同轴性、对水和真空可靠密封以及支承轴和靶管的简单的经常重复的无磨损连接和分开、对于恒定的轴位良好的旋转，根据本发明至少在支承轴与靶管之间设置一个与其同轴的间隔体和两个可拆卸的分离位置；通过分离位置在支承轴、间隔体与间隔体、靶管间可拆卸重复地建立抗扭转且形状刚性的连接。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 溅射 一个 旋转 阴极 装置 | ||
【主权项】：
1.用于溅射一个靶管(12)的阴极装置，该装置具有一个不旋转的磁系统(23)用于产生一个包围等离子的磁场，其中所述靶管(12)在一个真空室内部可以透穿磁场地旋转，其中在至少一个支承结构(1)中设置一个用于靶管(12)的可驱动的支承轴(6)，其中还在靶管(12)的内部中设置一个用于磁系统(23)的固定体，并且其中在支承轴(6)与靶管(12)之间设置至少一个可拆卸的耦联装置用于更换靶管(12)，其特征在于，至少在可驱动的支承轴(6)与靶管(12)之间设置一个与其同轴的间隔体(15，67)和两个可拆卸的分离位置(32/53)或(60/61)；通过所述分离位置(32/53)或(60/61)在支承轴(6)、间隔体(15，67)与间隔体(15，67)、靶管(12)之间可拆卸且可重复地建立抗扭转且形状刚性的连接。
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